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合肥真萍电子科技有限公司
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真萍科技HMDS涂胶机性能
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺尤为重要。
真萍科技HMDS涂胶烤箱的工艺流程
HMDS涂胶系统通过对烘箱内HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS真空烤箱的工作性能及优点
起初，人们用液态的HMDS直接涂到晶片上，然后借着晶片的高速旋转在晶片表面形成一层HMDS膜。这样就阶段性的解决了基片和光刻胶之间的结合问题，但随着光刻线条的越来越细，胶的越来越薄，对粘附力提出了更高的要求，于是HMDS真空烤箱被研制出现。
HMDS真空烤箱的技术指标及优点
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺尤为重要。
HMDS涂胶机的工作流程
HMDS涂布烤箱通过对HMDS预处理过程的工作温度,处理时间,处理时保持时间等参数可以在硅片,基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附.
HMDS涂胶机的技术指标和优点
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺尤为重要。
皖公网安备 34019102000328号
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