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合肥真萍电子科技有限公司
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12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管
Truefur-300 是一款针对12吋晶圆表面涂覆PI胶后的固化烘烤设备 WLP,PLP -> BUMP工艺专用设备
- 产品信息
一、产品用途：
集成电路圆片胶， BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别；集成电路圆片快速退火
二、产品特点：
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间。
2.FEC加热，升温迅速且均匀度好
3.不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度。
4.自带自清洁功能，可通氢气清洗内腔
三、控制系统
1.人机界面采用触摸屏方式
2.控制器采用嵌入式控制器
3.超温保护为检测器件
4.具有氧含量检测功能
5.运动控制为伺服/步进控制单元
6.传输为专业晶元传输机器人
7.软件具有功能:温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示.
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设备名称 |
12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管炉 |
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处理产品 |
12inch 晶圆 |
处理量 |
50PCS/管，共100PCS |
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加热器 |
温度传感器 |
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上料口 |
2个 |
机械手 |
1个/2个 |
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温度范围 |
150°C-400°C |
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升温速率 |
>30℃/min |
降温速率 |
>5℃/min |
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加热功率 |
36kW(单炉) |
加热温区 |
2个 |
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人机界面 |
15寸触摸屏 | 门联锁 | 保证工作区安全 | ||
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温度控制方式 |
SSR |
程序控制 |
PLC控制 |
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炉膛材料 |
石英玻璃 |
保温材料 |
陶瓷纤维 |
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加热区 |
风门加热区风套 | ||||
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排气系统 |
自动排气 |
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技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。
皖公网安备 34019102000328号
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