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黄光区设备

12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管

Truefur-300 是一款针对12吋晶圆表面涂覆PI胶后的固化烘烤设备 WLP,PLP -> BUMP工艺专用设备

  • 产品信息

一、产品用途:
集成电路圆片胶, BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别;集成电路圆片快速退火

二、产品特点:
    
1.一体式人机操作系统,连续式自动化生产,工作效率高,节约人工成本、电能及工艺时间。
    
2.FEC加热,升温迅速且均匀度好
   
3.优质不锈钢材质,表面经物理及化学抛光处理,确保洁净度。

4.自带自清洁功能,可通氢气清洗内腔

三、控制系统
1.人机界面采用触摸屏方式
2.核心控制器采用嵌入式控制器
3.超温保护为独立检测器件

4.具有氧含量检测功能
5.运动控制为伺服/步进控制单元
6.传输为专业晶元传输机器人
7.软件具有功能:温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示.


设备名称

12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管炉

处理产品

12inch 晶圆

处理量

50PCS/管,共100PCS

加热器

温度传感器



上料口

2个

机械手

1个/2个

温度范围

150°C-400°C

升温速率

>30℃/min

降温速率

>5℃/min

加热功率

36kW(单炉)

加热温区

2个

人机界面

15寸触摸屏 门联锁 保证工作区安全

温度控制方式

SSR

程序控制

PLC控制

炉膛材料

石英玻璃

保温材料

陶瓷纤维

加热区

风门加热区风套

排气系统

自动排气

技术细节变动之处,恕不另行通知,具体设备参数以咨询结果为准。

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