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黄光区设备

真空无氧烤箱

应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

  • 产品信息

一、应用介绍:应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
主要特点:节省氮气(30LPM),具有升温快、节能等特点,独特的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀,美国金属过滤器,确保洁净度的要求。

二、技术指标:
2.1长期使用温度:400℃;(最高温度:450℃)
2.2控温精度:±1℃; 

2.3 温度均匀度:≤2%MFS;

2.4最大升温速率:≤8℃/min;

2.5降温速率:400℃-80℃,≤2.5h;

2.6 降温方式:风冷;

2.7极限真空度:≤10pa

2.8氧含量指标:常温下≤50ppm;高温下≤30ppm

2.9洁净度:class100级


三、加热方式:

    3.1 加热元件:嵌入式FEC加热板,环形四周加热;

    3.2 保温材料:陶瓷纤维材料;


四、降温方式:

4.1 风冷降温;空气放大器强制抽排;


4.3 环境气体吹扫炉胆外壁,加快降温速率;


 型号
MOLZK-32D1
MOLZK-118D1
MOLZK-282D1
内尺寸(mm
Φ270×500 (使用:180*400*180mm
Φ535×770(使用:376*566*360mm
W710*H710*D560
层板数
一层
一层
一层

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