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湿法设备

蒸镀前清洗机

适用于蒸镀前清洗

  • 产品信息

项目

说明

设备名称

蒸镀前清洗机(适用普通LCDAMOLED工艺产品)

基板尺寸

G2.5~G8.5

适用工艺

适用于蒸镀前清洗

控制方式

CIM系统+PLC系统

工艺流程

LoadingEUVBrushRinseBJHPMJMS+Final RinseAKUnloading

洁净等级

CLASS100

Tact Time

工艺而

工艺效果

1)优于98%的洗净率(1~10μm);

2)无Mura,无水痕,无Roller Mark

3)接触角<5°(素玻璃测试)。

设备特点

具备FIX TYPEScaning Type模式碎片感应;

CIM通讯功能与完善的数据记录功能;

滚刷自动高度调整与每根滚刷单独控制功能;

滚刷水平度调整功能;

卓越的Slit BJ系统,高打击力,高洁净度;

水平衡系统,节约用水;

干湿分离,传动分离,优于Class100的内部工作环境;

高精密系统,流量分布均匀性全局控制在2%以内;

高精密液刀、高精密风刀;

具备槽体清洗功能,清洗液独立管路排放,减少厂务负担;

加热器多重保护,泵浦多重保护功能;

完善的安全措施:软件+硬件多重保护;

液刀、风刀智能开启与关闭功能,节约能耗。

真萍科技作为专业的烘箱设备制造厂商,可根据客户特殊需求定制您需要的满意产品,有需求的客户详情请咨询400-608-2908。

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