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湿法设备

高精度清洗机

适用整个LCD制程工艺中清洗需求

  • 产品信息

项目

说明

设备名称

高精度清洗机(适用普通LCDAMOLED工艺产品)

基板尺寸

G2.5~G8.5

适用工艺

适用整个LCD制程工艺中清洗需求

控制方式

CIM系统+PLC系统

传输方式

Roller To Roller

设备类型

Custom Made

工艺流程

可根据不同工艺制程集成EUV/PLASMABrushCJ/BJHPHPMJMSOzoneIR等功能。

洁净等级

CLASS100

Tact Time

工艺而

工艺效果

1)高达98%以上的洗净率(1~10μm);

2)无Mura,无水痕,无Roller Mark

设备特点

1)具备FIX TYPEScaning Type模式碎片感应; 2CIM通讯功能与完善的数据记录功能; 3水平衡系统,节约用水

4)干湿分离,传动分离,优于Class100的内部工作环境; 5)高精密系统,流量分布均匀性全局控制2%以内

6)高精密液刀、高精密风刀; 7具备槽体清洗功能,清洗液独立管路排放,减少厂务负担; 8加热器多重保护,泵浦多重保护功能

9)完善的安全措施:软件+硬件多重保护; 10液刀、风刀智能开启与关闭功能,节约能耗。

真萍科技作为专业的烘箱设备制造厂商,可根据客户特殊需求定制您需要的满意产品,有需求的客户详情请咨询400-608-2908。

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