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湿法设备

酸清洗台

适用于2-6寸硅片清洗

  • 产品信息

设备名称:酸清洗台



适用于:2-6寸硅片清洗
总体规格: 1200mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H)
工件:2-6寸硅片
产能:25片/槽,50片/槽可按客户产能需求设计


设备特点:
1. 设备骨架为SUS304外包3mmPP,外壳采用德国进口PP-W板焊接
2.采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“西门子”PLC控制
3.槽体设置温度、液位监控装置;
4.药液槽配透明槽盖,有效防止药液挥发,污染;
5.清洗区域配有高效过滤器,无二次污染机会;

上一个:有机清洗台下一个:半自动清洗设备
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