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HMDS预处理系统具有的五个优点介绍

 发布时间:2020-07-02 点击:载入中...

  HMDS预处理系统具有的五个优点介绍

  经常有人问,HMDS预处理系统在市场上应用的这么好,究竟有哪些优点呢?下面为大家介绍一下,HMDS预处理系统具有的五个优点。

  (1)预处理性能更好,由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会降低,所以有着较好的处理效果。

  (2)处理更加均匀。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟的均匀性。

  (3)效率高。液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理4盒的晶片。

  (4)更加节省药液。实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多;

  (5)更加环保和安全,HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。


*章仅为个人观点,不作为技术依据或参考。


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