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圆形是怎么在晶圆生产中脱颖而出的?

信息采集:http://www.tphte.com/ 发布时间:2021-01-08 点击:载入中...

大家都知道,在同一面积内,能放置的直径或边长相同的圆形和方型产品面积是不一样的,一般方型可以放的更多,换句话说,也就是方型对有效空间的利用率更高。那么为什么是晶圆而不是晶方呢?圆形的WAFER里面方型的DIE,总是会产生一定的空间浪费,那么在追求利润最大和高效率的现代,这样一种配置还能一直沿用下去的原因,圆形能在各种形状中脱颖而出的原因,就值得一思。

首先是因为硅晶片的生产过程,硅晶片是将硅提纯后再通过单晶直拉法熔融提拉然后切成片片来的,单晶直拉法工艺过程中运用的提拉方式是旋转提拉,这种提拉方式决定了硅锭的圆柱形,从而决定了晶圆是圆形的

但如果仔细观察,会发现晶圆也不是标准的圆形,如图:

是有平槽或V槽的,这个步骤可以帮助后续工序确定WAFER的摆放位置,也标明了单晶生长的金相,便利于后面的切割及测试程序。而且基本切割都在边缘位置,算是一定意义上的资源再利用了。

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